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一种旋涂方法，通过涂料喷嘴向位于夹盘上的基板涂覆涂料材料，包括：将基板定位于夹盘上，夹盘的中心轴与第一轴重合；倾斜夹盘，使夹盘的中心轴与第二轴重合；使夹盘带动基板转动，转动包括以第一轴为轴的转动及/或以第二轴为轴的转动；根据夹盘的转速及倾斜...
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