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一种应用于半导体腔室的净化系统，用于去除半导体腔室中产生的反应副产物，包括：泵，所述半导体腔室的出口和所述泵之间通过管接件连接，所述管接件内设有净化器，所述净化器的外壁贴合于所述管接件的内壁，所述出口与所述净化器之间的距离范围不超过50cm...
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