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本实用新型公开一种半导体用夹持衬垫，包括防护机构、定位机构、弹簧杆和支撑机构，所述支撑机构的内端面四角均固定连接有用于弹性支撑的弹簧杆，且所述支撑机构包括固定垫板、卡槽、固定槽和连接槽，所述固定垫板的顶端面中心处开设有卡槽。本实用新型通过设...
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