下载一种磊晶结构及其制备方法、LED的技术资料

文档序号:24597986

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本发明公开了一种磊晶结构及其制备方法、LED,所述磊晶结构包括:依次设置的蓝宝石衬底、GaN层、缺陷暴露层、缺陷终止层。在蓝宝石衬底上制备缓冲层(GaN层)之后,本发明通过缺陷暴露层,将缓冲层中的缺陷扩大,并暴露出来,然后通过缺陷终止层改变...
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