下载用于减轻碳化硅MOSFET器件中的短沟道效应的方法和组件的技术资料

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本文提供了一种功率晶体管组件和减轻功率晶体管组件中的短沟道效应的方法。功率晶体管组件包括:第一半导体材料层,该第一半导体材料层由第一导电型材料形成;和硬掩模层,该硬掩模层覆盖第一层的至少一部分并且具有穿过其暴露第一层的表面的窗口。功率晶体管...
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