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包含键合的存储器管芯和外围逻辑管芯的三维存储器器件及其制作方法技术
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下载包含键合的存储器管芯和外围逻辑管芯的三维存储器器件及其制作方法的技术资料
文档序号:24597941
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第一管芯包括三维存储器器件和第一铜焊盘。第二管芯包括外围逻辑电路和第二铜焊盘,该外围逻辑电路包含位于半导体衬底上的CMOS器件。通过铜互扩散将第一铜焊盘与第二铜焊盘键合以在第一管芯与第二管芯之间的接口处提供相应的第一铜焊盘和相应的第二铜焊盘...
该专利属于闪迪技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过闪迪技术有限公司授权不得商用。
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