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用于显示器应用的层堆叠制造技术
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下载用于显示器应用的层堆叠的技术资料
文档序号:24597869
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本公开内容的实施方式一般地涉及包含高介电常数电介质层的层堆叠,所述层堆叠形成于第一电介质层与金属电极上方。高介电常数电介质层具有20或更高的介电常数值且可形成为电子装置中的电容器、栅极绝缘层或任意合适的绝缘层的一部分,电子装置例如显示器装置...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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