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本文中的本发明包括通过注入非极性疏水性元素来增强非晶硅硬掩模的表面，从而导致非晶硅表面的疏水性增加和抗蚀剂粘附性增加。根据本发明，注入疏水性元素可以包括通过低能量注入和等离子体处理将疏水性元素引入到非晶硅的表面中。注入的疏水性元素可以是硼、...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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