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所描述实例包含气室(201)，其包含在第一衬底(202)中的空腔(203)、在所述空腔(203)中的非挥发性前体材料以及接合到所述第一衬底(202)以密封所述空腔(203)的第二衬底(206)。在形成所述密封空腔(203)之后或期间，活化所...
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