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单体、聚合物、有机膜组合物以及图案形成方法技术
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文档序号:24595330
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涉及包括由下述化学式1表示的部分以及取代或者未取代的C6至C30芳香环部分的单体、通过所述单体的缩聚反应形成的聚合物、包括所述单体和/或聚合物的有机膜组合物、以及使用所述有机膜组合物的图案形成方法。[化学式1]化学式1的定义与说明书中记载的...
该专利属于三星SDI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星SDI株式会社授权不得商用。
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