下载液体材料涂布装置及涂布方法的技术资料

文档序号:24594503

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本发明提供不在吐出头设置旋转机构而可进行三维的涂布描绘的涂布装置及涂布方法。一种涂布装置及使用该装置的涂布方法,该涂布装置具备:吐出头,其具备具有朝Z方向开口的吐出口的吐出装置;载台,其保持工件;XYZ相对移动装置,其使上述吐出头与上述载台...
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