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本发明提供了一种改善铝对氧化铝陶瓷润湿性的方法，其包括：先对氧化铝陶瓷表面进行抛光处理，再放置真空室内；将真空室的背底气压预抽，并将氧化铝陶瓷加热；待氧化铝陶瓷降至室温后，对真空室充入氩气，并保持压强；对氧化铝陶瓷进行磁控溅射时，先采用铝靶...
该专利属于上海电机学院所有，仅供学习研究参考，未经过上海电机学院授权不得商用。

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