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本实用新型涉及真空腔体的设计与制造技术领域，且公开了等离子真空腔体设计结构，包括外壳，所述外壳的内部设置有小型气缸，小型气缸运行带动第一铰接杆的右端翘起，第一铰接杆的右端翘起通过竖杆带动背杆同步翘起，第二铰接杆的右端与三角板的右端相铰接，使...
该专利属于天津双微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津双微电子科技有限公司授权不得商用。

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