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本实用新型公开了一种半导体晶圆湿法清洗治具，该治具包括提把和一组平放花篮；所述提把沿竖直方向均匀设置有一组连接端口；所述平放花篮由圆形底盘和设置在圆形底盘边缘的一圈镂空侧壁组成，圆形底盘上设置有一组通孔，在所述镂空侧壁的外缘设置有至少一个连...
该专利属于苏州长瑞光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州长瑞光电有限公司授权不得商用。

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