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本实用新型公开了一种等离子光刻胶装置，包括外壳体、通水电极管路、通水极板组、绝缘的物料托架以及真空腔体，真空腔体设置于外壳体内，且真空腔体后部连接有集成式通水电极管路及通水套件，通水电极管路通过连接电缆与射频电源连接，通水极板组设置于真空腔...
该专利属于昆山索坤莱机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山索坤莱机电科技有限公司授权不得商用。

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