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本发明涉及一种具有纳米孔阵列的超导微米线单光子探测器及其制备方法，该单光子探测器包括自下到上依次设置的衬底、金属薄膜反射镜、介质层、超导微米线；衬底上超导微米线的占空比为20％‑80％，超导微米线中设置有纳米孔阵列，纳米孔内设置有金属纳米颗...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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