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沟槽型功率半导体器件及其制备方法,本发明涉及一种功率半导体器件的结构以及其制造方法,在本发明的屏蔽栅沟槽型场效应管结构中,包含一系列相互平行的沟槽。沟槽中包含栅电极和屏蔽栅电极,两者之间相互隔离,根据栅电极和屏蔽栅电极在沟槽内的结构,可以把...
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