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具有特殊栅极外型的鳍式场效晶体管结构制造技术
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文档序号:24584747
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本发明公开一种具有特殊栅极外型的鳍式场效晶体管结构,其包含一鳍部位于一基底上以及一栅极位于该基底上且横跨该鳍部,其中该栅极分为位于该鳍部的顶面上的上半部以及位于该鳍部的两侧的下半部,该栅极的该下半部在邻接该鳍部的位置处具有往该第一方向侧向延...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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