下载半导体结构及其形成方法的技术资料

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一种半导体结构及其形成方法,其中形成方法包括:提供基底,基底包括相邻的第一区和第二区,第二区与第一区相互分立;分别在基底第一区和第二区表面形成伪栅结构;在所述基底表面形成介质层,介质层顶部低于伪栅结构顶部,介质层覆盖伪栅结构部分侧壁;在介质...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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