下载一种横向高压功率半导体器件的技术资料

文档序号:24584701

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本发明提供一种横向高压功率半导体器件,包括:P型衬底、P型外延层;P型外延层包括第一P型掺杂区、N型漂移区、P型阱区、栅氧化层、多晶硅栅极、侧墙;P型阱区包括第一N型重掺杂区、第一P型重掺杂区;N型漂移区包括第一N型掺杂区、第二N型掺杂区、...
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