下载包含蚀刻停止材料的微电子装置及电子系统以及相关方法的技术资料

文档序号:24584401

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本申请案涉及包含蚀刻停止材料的微电子装置及电子系统且涉及相关方法。一种微电子装置包括:半导体材料,其延伸穿过导电材料及绝缘材料的交替层级的堆叠;及包括氧化铈及至少另一氧化物的材料,其邻近于所述半导体材料。还揭示相关电子系统及方法。...
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