下载一种扇出型封装件及其制作方法的技术资料

文档序号:24584266

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本发明提出了一种扇出型封装件及其制作方法,通过在芯片中引入TSV结构,将部分输入输出端口电引导至背面,然后在正反两面都设计再分布层结构,减少了单一侧的再分布层金属层数,从而降低了寄生电容和信号串扰的发生,使得器件的稳定性和可靠性得到提升。...
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