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本发明实施例提供一种阵列基板及其制备方法,包括:在基板层上依次形成半导体构件、阻挡构件、第一绝缘层、栅极、第二绝缘层、层间绝缘层;以预定掩模和所述阻挡构件的组合对所述第一绝缘层、所述栅极、所述第二绝缘层和所述层间绝缘层实施光罩制程,并进行蚀...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供一种阵列基板及其制备方法,包括:在基板层上依次形成半导体构件、阻挡构件、第一绝缘层、栅极、第二绝缘层、层间绝缘层;以预定掩模和所述阻挡构件的组合对所述第一绝缘层、所述栅极、所述第二绝缘层和所述层间绝缘层实施光罩制程,并进行蚀...