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本发明提供一种基板处理装置及方法。基板处理装置包括：工艺模块，执行对基板的工艺处理；索引模块，将基板插入至所述工艺模块，并从所述工艺模块抽出完成工艺处理的基板；装载模块，将环境转换为真空环境或常压环境，将基板在真空环境的所述工艺模块与常压环...
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