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本发明公开了一种晶圆贴膜机，包括膜输送装置、贴膜装置以及拉膜装置。膜输送装置包括两个膜输送轮。两个膜输送轮之间具有贴膜工作区，且膜输送装置用以使薄膜于贴膜工作区沿输送方向自其中一膜输送轮移动至另一膜输送轮。贴膜装置设置于贴膜工作区，且贴膜装...
该专利属于志圣科技(广州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过志圣科技(广州)有限公司授权不得商用。

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