温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种晶圆参数的修调方法，包括：晶圆参数设置M个晶圆参数档位值；将M个晶圆参数档位值平均分为N个档位区间，在每个所述档位区间内选取一个所述晶圆参数档位值，获得N个晶圆参数档位值；分别测量N个所述晶圆参数档位值对应的N个晶圆参数量测...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。