温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种残胶检测工具、制作方法以及残胶检测方法，该残胶检测工具包括至少一种均匀排布的几何图形，通过使用该残胶检测工具在涂覆有胶层的基片上进行曝光并显影；检测基片表面的光泽；根据基片表面的光泽的均匀性检测残胶区域，可以提高残胶检测的效...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。