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文档序号:24584007

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本申请公开了一种封装方法,该方法包括:提供晶圆,晶圆包括晶圆本体、设置在晶圆本体同一侧且均裸露的焊盘以及敏感元器件;形成覆盖敏感元器件的保护层;在裸露的焊盘上形成与焊盘电连接的金属凸柱;去除保护层。本申请所提供的封装方法能够在制备金属凸柱的...
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