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本发明属于光电和电子器件材料技术领域，具体为远程氮等离子体掺杂过渡金属硫族化合物的方法。本发明方法包括：制备单层或少层的过渡金属硫族化合物；将过渡金属硫族化合物样品放入远程氮等离子体装置；体系采用高真空系统，压力为<10...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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