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本发明公开一种等离子启辉辅助装置，包括：绝缘筒、电感线圈、射频电源和匹配器，所述电感线圈绕于所述绝缘筒外，所述电感线圈通过所述匹配器与所述射频电源相连接。本发明能够在不改变主腔室的腔体压力和启辉功率的情况下，辅助等离子启辉，方便、高效并且不...
该专利属于江苏鲁汶仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器有限公司授权不得商用。

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