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本发明公开了一种透射电镜高分辨原位液相加热芯片及其制备方法。结构为上片和下片通过金属键合层组合，自封闭形成一个超薄的腔室；上片和下片的材质均为两面有氮化硅或氧化硅的硅基片，上片有两个注样口和一个中心视窗；下片有液体出入口、流道、加热层、位于...
该专利属于厦门超新芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门超新芯科技有限公司授权不得商用。

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