下载一种不易产生崩边的晶圆切割装置的技术资料

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本实用新型公开了一种不易产生崩边的晶圆切割装置,包括固定座,所述固定座的顶部固定连接有固定腔,固定腔的底部贯穿固定座的顶部并延伸至固定座的下方,本实用新型涉及晶圆加工技术领域。该不易产生崩边的晶圆切割装置,根据晶圆的高度,转动紧固螺栓,对紧...
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