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本发明属于超精密加工领域，具体涉及一种薄壁复杂结构单晶金刚石惯导器件的超精密加工方法，包括以下步骤：(1)单晶金刚石双面抛光；(2)五轴联动皮秒和飞秒激光复合加工惯导器件形貌结构；(3)惯导器件整体浸入抛光液中进行化学机械抛光。本发明首先通...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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