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本发明公开了一种超快激光直写配合激光抛光制备中阶梯光栅的方法，涉及激光加工领域，包括通过超快激光直写制备中阶梯光栅，使用超快激光对中阶梯光栅表面进行抛光；其中，中阶梯光栅包括数个依次连接的三角形槽。利用超快激光加工精度高、热影响区小的优点，...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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