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一种高平面度大尺寸吸盘，其包括上吸盘和下吸盘，所述上吸盘和下吸盘之间形成真空腔，所述上吸盘包括基板吸附面板，所述基板吸附面板包括多个连通至真空腔结构的通气孔，所述下吸盘外表面设有支撑板。通过支撑板结构保证了吸盘整体的支撑面积足够大，并承担绝...
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