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本发明公开了一种化学气相沉积设备温度均匀控制的方法，包括以下步骤：（1）划分出多个控制空间，在每个控制空间对应的沉积炉的炉壁区域的内表面安装温度传感器和电加热件，外表面安装冷却件；（2）采集实际温度值；（3）计算出各控制空间的实际温度值与各...
该专利属于清华大学无锡应用技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学无锡应用技术研究院授权不得商用。

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