温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种CVD设备的控制方法及控制装置，所述方法包括：建立基础信号表、专家经验表以及处理方式表，其中，所述基础信号表存储有CVD设备正常运行状态下的各运行参数的参数区间，所述专家经验表中存储有运行参数的值超出所述参数区间所对应的故障...
该专利属于深圳市纳设智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市纳设智能装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。