下载一种膜片式真空泵的技术资料

文档序号:24563321

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本申请提供了一种膜片式真空泵,涉及电子真空泵领域,具体而言,该新型膜片式真空泵包括有驱动凸轮以及与驱动凸轮外缘相对的两端分别抵接的至少一对真空发生组件,真空发生组件包括由底座和皮膜围合形成的空腔,底座上分别设置有与空腔连通的抽气口和排气口,...
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