下载进料装置及具有其的单晶炉的技术资料

文档序号:24558228

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本申请涉及一种进料装置及具有其的单晶炉,包括包裹体和引导体,包裹体的一侧与引导体的一侧固定连接,其中,包裹体和引导体均为中空结构,且包裹体与引导体连通,包裹体围设在用于输送硅散料的进料管的外围,并包裹进料管的出口,引导体未与包裹体相连接的一...
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