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本实用新型公开了一种外延炉用稳定性好的旋转放置基座，包括外基座、内基座和衬底固定座，所述内基座设置在外基座中，衬底固定座设置在内基座中；所述外基座、内基座、衬底固定座均呈圆形结构，且三者中轴线相互重合；所述外基座内部中空，设置有调节腔，所述...
该专利属于无锡盈格科科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡盈格科科技有限公司授权不得商用。

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