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本实用新型属镀膜机附属配件领域，尤其涉及一种等离子源防护装置，包括底层防护套（1）及上侧面防护套（2）；所述底层防护套（1）的底部外延固定设有缝隙遮挡环板（101）；所述上侧面防护套（2）与底层防护套（1）活动套接；在所述上侧面防护套（2）...
该专利属于沈阳仪表科学研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳仪表科学研究院有限公司授权不得商用。

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