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本实用新型提供一种湿制程设备，在机架设置有：一基板输送装置、一加工液增压吸引装置以及一加工液增压喷洒装置，利用加工液增压吸引装置的第一供液泵抽吸加工液，加工液通过第一增压器的第一内管体，而由第一喷流口喷向第一增压通道，加工液在喷出第一增压通...
该专利属于登泰电路机械股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过登泰电路机械股份有限公司授权不得商用。

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