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为解决热蒸发法制钙钛矿薄膜覆盖率不均匀的问题，本实用新型提出一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，能显著提高钙钛矿薄膜的均匀程度，其具有条形主体，其特征在于：所述条形主体包括同圆心布局的半圆石英蒸发舟、加热器、绝缘环和热屏蔽罩，并...该专利属于中山市武汉理工大学先进工程技术研究院;中山艾尚智同信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市武汉理工大学先进工程技术研究院;中山艾尚智同信息科技有限公司授权不得商用。