【技术实现步骤摘要】
一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置
本技术涉及钙钛矿太阳能电池
，具体涉及一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置。
技术介绍
近年来钙钛矿材料作为一种新型的太阳能电池材料受到更多的关注，其具有成本低、宽的光谱吸收范围、可调的直接带隙、高的吸收系数、组分可调、长的载流子扩散距离等特点，因此在电池领域有非常广阔的发展前景。蒸镀装置是应用于薄膜制备领域的实验和生产设备，在钙钛矿薄膜电池的制备被广泛的使用。目前钙钛矿薄膜电池的制备过程中使用的线型蒸发源一般由坩埚组成，通过对坩埚进行加热，使其中蒸镀材料变成蒸气，从而蒸镀至基板上成膜。但是，使用坩埚蒸发源的情况下，由于坩埚内受热不均匀，蒸镀材料蒸镀至基板形成的薄膜会不均匀，降低蒸镀效率，导致电池的效率降低。
技术实现思路
为解决热蒸发法制钙钛矿薄膜覆盖率不均匀的问题，本技术提出一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，能显著提高钙钛矿薄膜的均匀程度，其具体
技术实现思路
如下：一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，具有条...
【技术保护点】
1.一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，具有条形主体，其特征在于：所述条形主体包括同圆心布局的半圆石英蒸发舟、加热器、绝缘环和热屏蔽罩，并且由内而外依次紧贴相接，所述半圆石英蒸发舟具有用于放置试剂的敞口腔体，于所述敞口腔体的开口上方设置有带孔修正网板。/n
【技术特征摘要】
1.一种钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，具有条形主体，其特征在于：所述条形主体包括同圆心布局的半圆石英蒸发舟、加热器、绝缘环和热屏蔽罩，并且由内而外依次紧贴相接，所述半圆石英蒸发舟具有用于放置试剂的敞口腔体，于所述敞口腔体的开口上方设置有带孔修正网板。
2.根据权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，其特征在于：所述加热器为半圆钽加热器。
3.根据权利要求2所述的钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，其特征在于：所述半圆钽加热器与铠装热电偶相连，所述铠装热电偶穿设于所述绝缘环内。
4.根据权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，其特征在于：所述带孔修正网板上的圆孔直径为0.5-10mm，且圆孔的排布适配于半圆石英蒸发舟的蒸发温度分布。
5.根据权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池真空热蒸镀设备中的匀气装置，其特征在于：所述热屏蔽罩包括外热屏蔽罩和内热...
【专利技术属性】
技术研发人员：王武峰，刘胜康，彭勇，徐俊，王雷冲，
申请(专利权)人：中山市武汉理工大学先进工程技术研究院，中山艾尚智同信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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