温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种铁电薄／厚膜微机电致冷器的制备方法，其特征在于包括用作致冷片的ＰＭＮ－ＰＴ和ＰＳＴ－ＰＴ弛豫性外延铁电薄／厚膜的制备过程，以及铁电薄／厚膜微型微机电（ＭＥＭＳ）致冷器阵列的制备过程两个部分，其中：　　　　该弛豫性外延铁电薄／厚膜的制备过...
该专利属于中国科学院电工研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。