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本实用新型涉及半导体温控领域，提供用于半导体生产用温控设备的温控系统。温控系统包括循环液箱、加热器、电动三通阀、制冷蒸发器、循环液入口温度传感器、可编程控制器和PID模块；加热器设于循环液箱中并与PID模块连接，PID模块与可编程控制器连接...
该专利属于北京京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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