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本实用新型公开一种基于全变差正则化法的硅片电阻率测量装置及系统，采用了可移动式的上、下电极圆盘和可升降的测试台，提供八个电极或者十六个电极两种选择模式，可以减少电极的数量使自动化程度提高。将硅片放在测试台上后，不需手动放置电极和调整电极位置...
该专利属于河北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北工业大学授权不得商用。

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