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本实用新型公开了一种精密框架热膨胀系数的快速测量装置,包括底座,所述底座的顶部设置有固定罩,所述固定罩上设置有箱门,所述固定罩顶部的一侧设置有伺服电机,所述伺服电机的输出轴上设置有螺杆,所述螺杆的表面上设置有螺纹块,螺纹块的底面上固定连接有...该专利属于东和半导体设备(南通)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东和半导体设备(南通)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种精密框架热膨胀系数的快速测量装置,包括底座,所述底座的顶部设置有固定罩,所述固定罩上设置有箱门,所述固定罩顶部的一侧设置有伺服电机,所述伺服电机的输出轴上设置有螺杆,所述螺杆的表面上设置有螺纹块,螺纹块的底面上固定连接有...