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一种薄膜沉积系统，包括原子层沉积单元(1)、化学气相沉积单元(2)以及清洗气体喷出单元(3)；原子层沉积单元(1)设置有第一组气体喷出单元(11)，化学气相沉积单元(2)设置有第二组气体喷出单元(21)，清洗气体喷出单元(3)包括至少一个设...
该专利属于深圳市柔宇科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市柔宇科技有限公司授权不得商用。

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