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本申请提供一种钛酸铜钙薄膜的制备方法和钛酸铜钙薄膜，钛酸铜钙薄膜具有优异的台阶覆盖性、膜厚均匀性和薄膜连续性，尤其适用于高深宽比结构。该钛酸铜钙薄膜的制备方法包括：在衬底上形成层状沉积结构，所述层状沉积结构包括至少一个二氧化钛层、至少一个氧...
该专利属于深圳市汇顶科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市汇顶科技股份有限公司授权不得商用。

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